HJT高效电池PECVD非晶硅薄膜设备

产品优势

低成本、大产能

链式静态镀膜设计/镀膜工艺间距可调/镀膜顺序灵活可调

大产能设计,基于166硅片10000片/小时以上产能,兼容156-210硅片,成本更低

RF+RPSC双电源设计,确保镀膜和自清洁互不干扰,各自工作在更佳状态

配套自主设计的高精度自动化传输设备

相关描述

金辰股份与瑞士H2GEMINI公司积极合作,专注研发应用于HJT技术的新型PECVD工艺与设备,通过不断尝试与创新,最终取得了突破性进展,研发生产的HJT太阳能电池PECVD非晶硅薄膜设备具有产能大、成本低等优点。

具备自有知识产权

与瑞士H2GEMINI公司合作联合开发

欧洲团队协助原型机方案验证

       
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