TOPCon高效电池管式PECVD设备

核心技术

非晶硅在高温晶化时脱膜抑制技术

低粉尘工艺技术

沉积薄膜过程电场阻抗系统稳态控制技术

大面积均匀性控制技术

等离子体脉冲氧化法制备超薄氧化硅技术

“氧化硅+原位掺杂非晶硅”二合一工艺技术

相关描述

金辰股份与中科院宁波材料所展开战略合作,探索出用管式PECVD装备实现TOPCon光伏电池核心材料“超薄氧化硅+原位掺杂非晶硅”的制备,同时在抑制非晶硅爆膜、防止电场导通、实现高效电池全工艺集成等关键技术方面取得了重大突破,推出了简化工艺流程解决方案。

等离子体增强型化学气象沉积(PECVD)技术

依靠等离子电场硅烷解离,沉膜速率快,掺杂效率高

定向沉积,绕镀轻微,成品率高

低温工艺,腐蚀性附产物少,耗材成本低

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