扩散/氧化/退火上下料机

产品特点

最高产能可达到16000pcs/h

可根据客户需求进行配置

特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿,陶瓷侧齿,减少硅片划伤,保证设备的稳定性

技术参数

技术参数相关参数
产能8000/11000/16000 pcs/h
石英舟规格 1000/1200/1600槽 ,节距2.38mm
硅片尺寸 166mm-210mm
适用花篮100 cassette
碎片率≤0.03%
开机率≥98%
耗气量1000L/min
具体参数如有变动,本公司不另行通知!
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